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DHCP等離子機
2025-07-11 16:01:34
DHCP 系列等離子機
特別適合FPC, COF,ACF 以及IC 載板生產 應用于? 表面清潔、去氧化、定向咬蝕
? 活化改性，提升附著力和可涂覆性
? 除膠，除綠油、干膜顯影殘留均勻性好，產能高 一體式掛架可水平裝載
基板，裝載快捷簡便
設計緊湊實用，生產高效經濟;占地面積小，耗氣量低
實時溫控電極確保工藝穩定和可重復性操作簡單，維護便捷
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型號：AnPT-DHCP |
DHCP02A |
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板厚 |
0.05-3mm |
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電極尺寸 |
625*525mm |
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層數 |
2 |
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Cycle Time |
Desmear |
10-60S |
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表面清潔活化 |
10-30S |
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產能（500x250mm) |
Desmear |
80-120 pnl/hour |
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均勻性 |
>85% |
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四角加中間 5 個點 |
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蝕刻速率 |
>5mg/min |
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CF4 用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
極限真空<40mT, 漏率<10mT/min; 工藝真空度 150-300mT |
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射頻電源 |
5KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
/ |
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