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AnPT NP001 系列等離子
2022-03-11 09:21:46
優異的均勻性、高產能；低生產成本
n 滿足MSAP/HDI板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求，具有良好的工藝性能
n 優異的工藝性能，具備較高的處理均勻性
n 水平-雙極饋電型電極，保證產品雙面同步均勻處理
n 獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計
n 高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求
n 可靈活配置電極及氣體分配方案，適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求
n 觸控式操作界面，直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量
n 整機設計緊湊，一體化設計整合各組件于主機器內， 占地面積小
n 極低的生產保養成本、維護簡單便捷
n 13.56GHz自適應射頻電源，具有優異的穩定性和工藝可重復性
n PCB印刷電路板行業
n COB,COF,IC載板及半導體行業
n LED、LCD、玻璃行業
n 電子行業及工業應用
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AnPT NP001 系列等離子 |
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型號 |
AnPT-NP001 |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 托盤需要定制) |
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三流道 |
220-280×50-116mm（x＊y） |
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四流道 |
220-280×50-85mm（x ＊y） |
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活化 |
10-15秒 |
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抽真空+活化+破真空 |
30-40秒 |
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水滴角 |
＜30° |
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打印值 |
40-50dyne/cm |
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氣體用量 |
O2/Ar 30ml/min；破真空氮氣30ml/min |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT |
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射頻電源 |
500W/13.56GHz |
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氣體純度 |
99.999% |
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