型號

AnPT-V定制

AnPT-V32

AnPT-V32X

生產板尺寸

板厚

0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制)

標準

22x27”(32片)

25x30”(32片)

最大

27x44”(16片)

30x50”(16片)

Cycle Time

Desmear

20-30min

Desmear+活化

30-45min

產能

Desmear

64-98 pnl/hour

Desmear+活化

32-48 pnl/hour

均勻性

>80%

＞80%

左中右三槽；每槽5-9個點

蝕刻速率

>0.3um/min

>0.3um/min

CF4用量(運行成本)

3%-8% (Desmear)

真空能力

極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT

射頻電源

10KW/40KHz

10KW/40KHz

10KW/40KHz

氮氣發生器純度

99%

升溫速率

1-2℃/min; (獨特設計，減少升溫時間)