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H30 系列等離子機
2022-02-28 14:24:47
H30系列等離子機
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型號 |
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AnPT-H30D |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.03-12mm |
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電極尺寸 |
最大 |
550x630mm |
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層數 |
雙排15*2 |
30 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清潔活化 |
10-15min |
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產能（500x250mm) |
Desmear |
60pnl/hour |
120 pnl/hour |
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表面清潔活化 |
60 pnl/hour |
120 pnl/hour |
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均勻性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5 個點 |
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蝕刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200-300mT |
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射頻電源 |
5-10KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
99% |
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