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AnPT RTR系列等離子機
2020-10-14 15:47:38
RTR 系列等離子機
AnPT R250/R500 系列等離子機
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型號 |
AnPT-R250 |
AnPT-R500 |
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生產板尺寸 |
板厚 |
25-400um |
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寬度 |
50-250mm |
50-500mm |
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產能（速度） |
孔Desmear |
0.5-4 m/min |
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表面處理 |
0.5-5m/min |
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均勻性 |
>80% |
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每槽3個點 |
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蝕刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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糾偏精度 |
+/-1mm |
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張力控制 |
20 – 100 N （專利的防腐控制） |
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卷料最大直徑 |
350mm |
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卷軸尺寸 |
3/6" (特殊的防腐卷軸） |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度200-300mT |
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射頻電源 |
5KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
99% |
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升溫速率 |
1-2℃/min; (獨特設計，減少升溫時間) |
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