產品中心
AnPT V30 系列等離子機
2020-10-14 15:39:39
V30 系列等離子機
|
型號 |
AnPT-V30 |
AnPT-V30X |
|
|
生產板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制) |
|
|
標準 |
22x27”(30片) |
25x30”(30片) |
|
|
最大 |
27x44”(15片) |
30x50”(15片) |
|
|
Cycle Time |
Desmear |
20-30min |
|
|
Desmear+活化 |
30-45min |
||
|
產能 |
Desmear |
60-90 pnl/hour |
|
|
Desmear+活化 |
30-45 pnl/hour |
||
|
均勻性 |
>80% |
||
|
左中右三槽；每槽5-9個點 |
|||
|
蝕刻速率 |
>0.3um/min |
||
|
CF4用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
||
|
真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT |
||
|
射頻電源 |
10KW/40KHz |
10KW/40KHz |
|
|
氮氣發生器純度 |
99% |
||
|
升溫速率 |
1-2℃/min; (獨特設計，減少升溫時間) |
||
【返回】